三維表面測量儀的工作原理與技術(shù)參數(shù)

三維表面測量儀是采用先進(jìn)的自動變焦技術(shù)對物體表面形貌和粗糙度進(jìn)行測量的儀器。該儀器的工作原理是光學(xué)小景深測量與精密垂直掃描相結(jié)合。光源所發(fā)出的光線經(jīng)過共軸的分光棱鏡和物鏡，聚焦照射到樣品表面上并發(fā)生反射，所反射光學(xué)信號經(jīng)由分光棱鏡被信號傳感器接收。通過連續(xù)的自動的垂直掃描技術(shù)以及先進(jìn)的圖像運算處理技術(shù)，獲得樣品完整的表面三維形貌。

主要技術(shù)參數(shù)

1. 位移范圍（X軸、Y軸、Z軸）：100mm×100mm×100mm

2. 大樣品高度：100mm ～ 345mm

3. 佳水平分辨率：0.44µm

4. 佳垂直分辨率：10nm

5. 測量速度:170萬個測量點/秒

6. 小測量高度：0.01µm

7. 大測量高度：22.5mm

8. 大測量形貌長度：100mm

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